Volume Pattern Generator" sistemas, VPG para abreviar, da Heidelberg Instruments são utilizados principalmente na produção industrial em massa. Utilizam lasers UV para gerar fotomáscaras com elevada precisão e velocidade, que servem de modelos para a produção de microchips, sensores, LEDs e MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Outras aplicações possíveis para os sistemas VPG incluem a escrita direta de microestruturas em wafers.
Para além da precisão extremamente elevada, o funcionamento 24 horas por dia, 7 dias por semana e os tempos de ciclo muito curtos por segundo fazem parte do perfil de requisitos dos accionamentos dos sistemas. Michael Kappel, Diretor de Design Elétrico: "É por isso que desenvolvemos internamente muitos dos componentes principais, incluindo as mesas XY com rolamentos de ar." Uma vez que o processo de exposição decorre em condições de sala limpa, os componentes de acionamento têm de ser selecionados em conformidade. Isto aplica-se em particular às linhas de alimentação de energia, sinal e meios para a mesa XY. Mesmo as mais pequenas partículas de pó prejudicam a qualidade da exposição. Outro requisito é pelo menos tão importante. Kappel: "Mesmo a mais pequena perturbação no decurso da alimentação de energia deve ser evitada, uma vez que reduz a precisão da exposição."
